| 照片 |
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| 仪器中文名 | 扫描电子显微镜 |
| 仪器英文名 | Field-emission scanning electron microscope |
| 型号 | Regulus8220 |
| 制造商 | 日立 |
| 产地 | 日本 |
| 购买年份 | |
| 仪器负责人 | 高嵩 |
| 可对外开放时间 | |
| 安放地点 | 综合科研楼B221 |
| 所在实验室 |
结构表征
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| 仪器编号 | |
| 主要规格 |
真空度：电子枪部分优于10-7 Pa；样品室部分优于10-4 Pa，且具有断电、漏电、真空保护功能； 信号检测系统：具有顶位探测器、高位探测器、低位探测器三个信号探测器，顶位和高位探测器安装在物镜上方，可以按比例同时接收SE和BSE信号，且可在2 kV以下低电压下呈背散射电子像；
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| 技术指标 |
分辨率：SE分辨率 15 kV：0.6 nm (工作距离4 mm) 1 kV：0.7 nm （工作距离1.5 mm）；放大倍率： 底片倍率：最小≤20倍，最大≥2,000,000倍，底片和显示器倍率可同时显示；加速电压：0.01 ～ 30 kV (100V/step，含减速)；束流：1 pA-15 nA且连续可变；样品台驱动： 5轴优中心马达驱动：X：0-45 mm，Y：0-45 mm，Z：1.5-25 mm，R：360°，T：0°～70°；通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程，单次换样时间小于1 min； 10、 具有最少18种扫描观察速度。
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| 功能 |
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| 应用范围 |
用于观察各类有机、无机、生物、复合材料的微观形貌、结构，及EDS元素含量。
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| 主要附件 | |
| 收费标准 |
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| 检测说明 |
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| 备注 |
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